清华大学精仪系李岩、尉昊赟课题组完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目,针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的需求,提出了基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件,打破了国外企业的垄断和对我国的出口限制。为我国高端装备和仪器研发提供性能稳定且不受制于外国的测量及溯源能力。

本次评选同时也带来了意想不到的社会影响力!

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